MicroXAM-800 白光干涉儀

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MicroXAM-800 product image with Monitor

產品描述:

MicroXAM-800光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。 該系統支持相位和垂直掃描干涉測量,兩者都是傳統的相干掃描干涉技術(CSI)。MicroXAM進一步擴展了這些技術,它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設置,并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。

MicroXAM測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關,因而能夠在大視野范圍內進行高分辨率測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。 MicroXAM的用戶界面創新而簡單,適用于從研發到生產的各種工作環境。

主要功能

  • 1.針對納米級到毫米級特征的相位和垂直掃描干涉測量
  • 2.SMART Acquire簡化了采集模式并采用已知最佳的程序設置的測量范圍輸入
  • 3.Z-stitching干涉技術采集模式,可用于單次掃描以及編譯多個縱向(z)距離很大的表面
  • 4.XY-stitching可以將大于單個視野的連續樣本區域拼接成單次掃描
  • 5.使用腳本簡化復雜測量和工作流程分析的創建,實現了測量位置、調平、過濾和參數計算的靈活性
  • 6.利用已知最佳技術,從其他探針和光學輪廓儀轉移算法
Patterned leaf image

主要應用

  • 1.臺階高度:納米級到毫米級的3D臺階高度
  • 2.紋理:3D粗糙度和波紋度
  • 3.形式:3D翹曲和形狀
  • 4.邊緣滾降:3D邊緣輪廓測量
  • 5.缺陷復檢:3D缺陷表面形貌
Photo of a scientist in a lab

工業應用

  • 1.大學、研究實驗室和研究所
  • 2.半導體和化合物半導體
  • 3.LED:發光二極管
  • 4.電力設備
  • 5.MEMS:微電子機械系統
  • 6.數據存儲
  • 7.醫療設備
  • 8.精密表面
  • 9.汽車
  • 10.還有更多:請與我們聯系以滿足您的要求

應用實例

臺階高度的量測

MicroXAM-800可以提供納米級到毫米級的3D臺階高度的非接觸式測量。納米級臺階可采用相位掃描干涉技術進行快速測量。 而垂直掃描干涉技術可以測量亞微米到毫米的臺階,最大臺階高度不超過物鏡的工作距離。 Z-stitching干涉測量技術可以對非常大的臺階進行快速的高分辨率掃描,并結合成為單個測量。采用多重技術可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。

紋理:粗糙度和波紋度

MicroXAM-800可以對3D紋理進行非接觸式測量,對樣品的粗糙度和波紋度進行量化。 相位模式掃描非常適用于非常光滑的表面。 Z-stitching干涉測量技術則適合具有不同反射率的表面 - 在不同光照水平下對表面進行多次掃描以獲取針對不同反射率值的最佳光照,然后將數據組合成單個測量值。 軟件過濾功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數。

3D graph of a bow and shape measurement

形式:翹曲和形狀

MicroXAM-800可以測量表面的3D形狀或翹曲。 也可用于測量鏡片的曲率半徑或醫療植入物(如髖關節或支架)的形狀。

3D topography image showing edge rolloff

邊緣滾降

MicroXAM-800可用于測量如藍寶石晶圓一類的樣品邊緣的3D表面形貌。 邊緣輪廓可以影響; 如剝離之類的工藝。 邊緣輪廓測量也可用于確定旋涂和類似工藝邊緣光刻膠的平整度。 對樣品內部直至邊緣都進行適當的工藝控制可以提高總體良率。

3D graph showing GaN Defect on PSS2

缺陷復檢

MicroXAM-800可以為LED和功率器件測量GaN生長過程中經常遇到的缺陷。 MicroXAM系統可對如Candela®光學表面分析系統之類的檢測設備所發現的缺陷進行形貌測量。 該功能可以量化缺陷的高度或深度以及CD(關鍵尺寸),有助于確定缺陷是否會影響器件的產量或性能,或確定缺陷的來源。

MicroXAM-800 Optical Profiler 選項可供選擇,配合您的新產品,或后續使用。

Image of a 10x objective lens

物鏡

五位鏡頭架可容納放大倍率從5倍到100倍的物鏡,用于納米、微米和宏觀形貌的應用。鏡頭架也可以輕易拆卸并直接安裝2.5x或5x物鏡。 校準保證了物鏡切換時樣本特征保持居中和聚焦。

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