Profilm3D 白光干涉儀

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Profilm3D使得光學輪廓測量更易負擔

表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。 Profilm3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率, Profilm3D 同樣使用了現今最高分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。

常見的選購配件

  • 1.Accurion Nano30主動式防震臺
  • 2.4微米,2微米, 和100納米多臺階高度標準。1.25英寸方形硅片上鍍鉻
  • 3.手動4-物鏡炮塔及位置感測
  • 4.自動4-物鏡炮塔及位置感測

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