臺階儀 探針式輪廓儀 膜厚儀 P17

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產品描述

P-17是第八代臺式探針輪廓儀,是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統領先業界,支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

該系統結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能,程序設置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法,可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

P-17設備是正真可以實現自動化多點測量的設備,是工藝提升的必要工具!

主要技術參數

  • 1.重復性:≤4A (0.01%)
  • 2.垂直分辨率:0.01A
  • 3.水平分辨率(X): 0.025um
  • 4.水平分辨率(Y):0.5um
  • 5.最大采樣率(點):4,000,000
  • 6.垂直線性度: ±0.5%>2000A
  • 7.針壓范圍:0.03~50mg
  • 8.最大量測長度:200mm(無需拼接)
  • 9.掃描速度:2um/s-25mm/s

主要功能

  • 1.臺階高度:幾納米至1000μm
  • 2.微力恒力控制:0.03至50mg
  • 3.樣品全直徑掃描,無需圖像拼接
  • 4.視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機
  • 5.圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
  • 6.軟件:簡單易用的軟件界面
  • 7.生產能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

主要應用

臺階高度:2D和3D臺階高度

  • 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  • 形狀:2D和3D翹曲和形狀

  • 應力:2D和3D薄膜應力

  • 缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌

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工業應用

  • 1.大學、研究實驗室和研究所

  • 2.半導體和化合物半導體

  • 3.LED:發光二極管

  • 4.太陽能

  • 5.MEMS:微機電系統

  • 6.數據存儲

  • 7.汽車

  • 8.醫療設備

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