T-Series水平式爐管

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T-Series水平式爐管(Horizontal Furnace): 常壓爐管/低壓化學氣相沉積(LPCVD)
 

設備簡介

Tempress 是世界著名半導體擴散設備供應商,成立50年來已經供應超過2000套設備在半導體行業
 

應用及特點

1.常壓工藝應用
2.低壓化學氣相沉積 (LPCVD)
 
3.應用領域

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