LT / S4 / S8單片電鍍設備

 

聯絡人:李安芃

聯絡電話:+86-21 18918393270

電子郵件:harrison.lee@scientech.com.cn

 

產品描述

 

Classone是致力于單片電鍍設備的世界知名設備提供商, 產品涵蓋2”~ 8”主流電鍍工藝,廣泛應用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射頻器件、VCSELs器件等化合物產業,以及MEMSSi基半導體產業。
 

儀器簡介

 

l  配置:2”~8” 手動2/ 全自動4(片盒對片盒) / 全自動8(片盒對片盒)

l  領域 :三五族(GaAs / SiC),GaN功率及射頻器件、VCSELs的器件等化合物產業及MEMSSi基半導體產業等

l  制程 : 單片金屬電鍍包含,Au,Cu,Ni,Sn,Ag, In,SnAg等金屬

 

特點

l  Classone公司有多年研發及制造單片電鍍設備的技術經驗,團隊的主要技術人員來自某12寸單片電鍍設備的廠家。

l  Classone設備具有高穩定性與高可靠度

l  Classone有的軟硬件設計及完善QC系統

l  Classone設備配置靈活,包含手動、半自動、全自動4腔或者8(片盒對片盒)型號滿足實驗室研發及量產客戶需求

l  Classone單片電鍍設備在化合物半導體行業內高占有率:目前世界范圍內裝機數量超過100

l  Classone電鍍設備主要技術優勢:

n  單片的face-down電鍍方式

n  接觸樣片的電極和密封環的分體設計,防止密封環釋放的時候黏連樣片造成碎片

n  流場通過diffuser的過濾,確保接觸樣片的區域最佳的電鍍液濃度均勻性

n  Au電鍍利用獨特的硬件設計,防止電鍍頭旋轉造成的電鍍圖形表面斜面的缺陷;

n  Cu電鍍,電鍍液和添加劑的單向通道設計,防止設備的陽極燒添加劑,節省添加劑成本超過90%;

n  對高深寬比的圖形側壁電鍍均勻性極佳;

 

 

 

應用領域

l  三五族化合物半導體(GaAs / SiC,GaN功率及射頻器件)

l  MEMS微機電

l  濾波器器件

l  石英基底的光通訊器件

Au材料孔的側壁及底面電鍍

Cu材料孔的填充

SnAg/Cu的多層電鍍

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