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SL473 Series: 晶圓激光打標系統

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SL473 Series: 晶圓激光打標系統 （ Laser Marking System）
 

設備簡介

Towa 是業界領先的半導晶圓激光打標設備供應商，其前身是著名的LaserFront系統。
 

應用及特點

  • 1.打標各類信息：產品名，Lot號，工藝控制號等
  • 2.打標精度高，顆粒度控制好，地維護成本，長期穩定運行
  • 3.Towa不僅提供先進300mm 硅晶圓打標系統，同時也提供針對化合物半導體晶圓系統：GaAs，SiC，GaN等。

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