NGR3550 ---電子束缺陷檢測及圖形測量分析系統

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設備簡介

1.NGR是半導體業界領先的專注于電子束缺陷檢測,大規模幾何圖形測量分析判斷系統。
2.NGR3550是新一代高分辨率型號

應用及特點

1.一套設備包含CD-SEM,SEM-Review 和 defect review 功能,同時進行檢測和量測
2.超大視野數據收集(70um*70um FOV)
3.高分辨率,可支持10nm以下工藝節點
4.數據分析采用Die to database模式,直接與原始設計圖形進行對比,大大提高分析的準確性和分析速度
5.適用于OPC的工藝管控,大大加快光罩研發修正速度
6.適用于YE的缺陷工藝管控
7.OPC應用超過90%的市占率(全球Tier 1客戶)

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