Profilm3D 白光干涉儀

Profilm3D使得光學輪廓測量更易負擔 表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。 Profilm3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率, Profilm3D 同樣使用了現今最高分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。

3D顯微鏡 共聚焦顯微鏡

Zeta-20是一款緊湊牢固的全集成光學輪廓顯微鏡,可以提供3D量測和成像功能。該系統采用ZDot?技術,可同時采集高分辨率3D數據和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。 Zeta-20具備Multi-Mode(多模式)光學系統、簡單易用的軟件、以及低擁有成本,適用于研發及生產環境。

MicroXAM-800 白光干涉儀

MicroXAM-800是一款基于白光干涉儀的光學輪廓儀,采用相位掃描干涉技術(PSI)對納米級特征進行測量,以及采用垂直掃描干涉技術(VSI)對亞微米至毫米級特征進行測量。 MicroXAM-800的程序設置簡單靈活,可以進行單次掃描或多點自動測量,適用于研發和生產環境。

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