KLA Candela 900 / 920表面缺陷及EPI外延缺陷檢測設備

適用于Si硅片及GaN外延片,SiC基片及SiC外延片表面缺陷及EPI外延缺陷的檢測分析,包含微粒、劃傷、坑點、污染、痕跡,同時也可以添加PL功能用以檢測某些GaN EPI缺陷及SiC EPI缺陷。該設備可以兼容透明片和不透明片。

KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面顆粒(缺陷)檢測設備

KLA-Tencor Candela 8400 / 8420 / 8720面缺陷檢測設備是針對半導體行業的表面缺陷的檢查分析儀器。該設備利用激光掃描樣品的整個表面,通過4個頻道(散射光頻道、反射光頻道、相移頻道及Z頻道)的探測器所收集到的信號,快速的將缺陷(包括微粒、劃傷、坑點、污染、痕跡等)進行分類,統計每一種缺陷的數量并且量測出相應的缺陷尺寸,最后給出整個表面的缺陷分布圖以及檢測報告。根據預先設定的標準,可以給出檢測樣品合格與否的判斷。同時8720型號可以針對化合物GaN外延材料進行高精度的外延缺陷(裂痕,凹坑等)檢測,在化合物外延領域擁有很好的市場占有率。

NGR3550 ---電子束缺陷檢測及圖形測量分析系統

NGR是半導體業界領先的專注于電子束缺陷檢測,大規模幾何圖形測量分析判斷系統。NGR3550是新一代高分辨率型號

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