VeraFlex III XF ---X射線光電子光譜分析系統 (XPS)

設備簡介: Nova是半導體業界領先的專注于薄膜量測分析設備供應商,提供超高分辨率XPS+XRF in-line量測系統 VeraFlexIII+ XF是第四代超高分辨率XPS(X-Ray光電子光譜分析系統),用于超薄膜成分及厚度量測以達到薄膜工藝質量控制

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